製品の特徴
複数のバージョン (PLC/PC) とさまざまな主流通信プロトコルをサポート。
SEMI安全製造基準に従って設計および製造が行われます。
高いチャンネル設計容量、UPH400~550個。
複数の製品寸法や雑誌に適しています。
MFC ウェーハレベルの特許取得済み設計により、ガス漏れによる安全上の事故を防止します（水素などの高リスクガスをサポート）。-
最大 5pa までの高密閉チャンバーの特許取得済みの設計。
水接触角<10° (related to the material of product surface);
デュアル下部電極を備えた 4 つの製品を同時に処理するための 4 つのチャネルの設計により、基板の出入りにかかる時間が短縮され、効率が大幅に向上し、処理における製品の均一性が確保されます。
技術仕様
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機能構成 |
技術的パラメータ |
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長さ×幅×高さ(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
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装置 |
正味重量(kg) |
1000 |
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外周すきま(mm) |
背面600、両側600 |
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チャンバー |
容積(L) |
約9 |
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チャンネル(数) |
4 |
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下部電極(個) |
2(遷移関数) |
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給餌モード |
雑誌 |
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適応製品寸法(mm) |
幅:40-100 長さ:150-300 |
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電極 |
電極寸法(mm) |
528×300 |
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RF電源 |
標準出力(kW) |
1 |
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周波数(MHZ) |
13.56 |
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ガス制御 |
最大 3 チャンネルまで |
2チャンネル（標準）、3チャンネル（オプション） |
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制御システム |
ヒューマンマシン インターフェース- |
PC+タッチスクリーン |
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リモートインターフェース |
コミュニケーション |
オプション |
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真空ポンプ |
オプションのドライポンプ |
17CFM |
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オプションのオイルポンプ |
195CFM |
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パージ機能付きドライポンプ（オプション） |
はい |
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窒素パージ流量（SLM） |
2 |
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真空引き時間(S) |
10月15日 |
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真空破壊時間(S) |
3-4 |
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工場設備 |
電源 |
三相 380V50/60Hz 4.5kW（オイルポンプ）- |
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寸法とプロセスの種類 |
1/4インチ スウェージロック |
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プロセスガスの純度 |
工業グレード以上 |
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プロセスガスの圧力(psig) |
10-20 |
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パージガスパイプラインの寸法と種類 |
1/4インチ スウェージロック |
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パージガス純度 |
工業グレード以上 |
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パージガスの圧力(psig) |
15 |
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空気圧の寸法と種類 |
10mm プッシュイン- |
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空気圧ガスの純度 |
圧縮空気、オイル-フリー、露点 7 度以下、粒子<5 |
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空気圧ガスの圧力(psig) |
70-90 |
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圧縮空気(mm) |
∅8 |
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コンプライアンス |
認証 |
セミ |
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付帯設備 |
窒素発生装置（オプション） |
窒素パージのオプション |
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ウォータークーラー（オプション） |
電極冷却用のオプション |
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水素キット（オプション） |
水素処理のオプション |
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排ガス処理装置（オプション） |
オプションでフッ素排気処理も可能 |
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交通機関 |
総重量(kg) |
1050 |
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パッケージ数 |
1 |
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SPM15規格に準拠したパッケージング |
はい |
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